小国事業所

小国事業所

赤芝ダム

小国事業所はクアーズテックの主力事業所です。水力発電所の電力を利用した最新鋭の生産拠点で、主に半導体製造装置向けの石英ガラス、炭素・炭化ケイ素製品を製造しています。小国事業所ではISO9001およびISO14001の認定を取得し、ユーザーの皆様に安定した品質の製品をお届けしています。

生産品目

  • 高純度石英ガラス製品
  • TPSS 炭化ケイ素セラミックス
  • 特殊炭素・高純度黒鉛製品
  • QCH-HEATER®
  • テコランダム炭化ケイ素発熱体
  • カーボンブラシ

石英ガラス・炭化ケイ素ボート

枚葉式サセプター

QCH-HEATER®

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