高純度石英ガラス製品(天然石英)

超大型石英チューブ・チャンバー

クアーズテック株式会社は、高度な溶接技術と業界最大の製造設備により世界最大級の石英チューブ・チャンバー類の製造を行っています。
特に、液晶を代表とするFPD(フラットパネルディスプレイ)や太陽電池などの大型基板熱処理工程におけるクリーンプロセス実現に貢献しています。
また、豊富な経験から蓄積された製造ノウハウと強度シミュレーション技術により、大型石英製品の新規設計をサポートします。

最大サイズファイ2000mm級チューブの実現!!

設備能力的には外径2000mmを超えるチューブ状製品の製造が可能です。

製品イメージ
超大型石英チューブのイメージ
※角型タイプへの対応も可能ですのでご相談下さい。

製品グレード一覧

グレード別化学分析例

[ppm]

グレード Al Fe Na K Cu
T-1030 8 0.3 0.8 0.2 0.02
T-1630S 8 0.3 0.05 0.05 <0.01
T-1930S 8 0.3 0.05 0.05 <0.01
T-4040 0.1 0.05 0.05 0.05 <0.01
T-2030 8 0.5 1.0 1.0 0.02
T-2630 8 0.3 0.4 0.2 <0.01

OH含有量・ガス放出量比較例

グレード OH含有量[ppm] 1000℃のガス放出量[ml/100g] 水素ガス割合[vol.%]
T-1030 200 1.5 75
T-1630S 200 1.5 75
T-1930S 200 2.1 90
T-2030 <1 0.1 0
T-2630 <1 0.1 0

粘性比較(代表例)

[℃]

グレード 軟化点 徐冷点 歪み点
T-1030 1660 1190 1090
T-1630S 1660 1200 1100
T-1930S 1660 1190 1090
T-4040 1590 1105 1000
T-2030 1670 1220 1130
T-2630 1670 1230 1140

機械的特性(代表例)

区分 単位 温度[℃] 透明石英ガラス 測定試料
密度 g/cm3 室温 2.2
硬度 Mohs 6
ヤング率 GPa 室温 72
500 76
900 79
剛性率 GPa 室温 31
500 34
900 35
ポアソン比 0.17
横断 MPa 室温 105 厚さ10mm両面研磨板
室温 125 径10mm棒状
室温 113 外径10.1mm、肉厚0.8mm管状
室温 99 外径10.5mm、肉厚1mm管状
500 123 外径10.5mm、肉厚1mm管状
900 149 外径10.5mm、肉厚1mm管状
捻り MPa 室温 46
引張強さ MPa 室温 48 径5mm棒状
室温 110 径0.7mm棒状
500 113 径0.7mm棒状
900 163 径0.7mm棒状
1100 128 径0.7mm棒状
圧縮強さ MPa 室温 1130 径24mm棒状

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