真空破壊用ブレイクフィルター™

真空装置のパーティクルを低減 − スループット向上が可能に!

ブレイクフィルター™ とは?

当社と東京エレクトロン(株)殿との共同開発により製品化されたブレイクフィルター™ は、セラミック多孔体のもつ非常に微細な細孔を利用し、圧力バッファー効果を利用した真空破壊用の高性能ディフューザーです。従来、ロードロック室の真空破壊にはパーティクルの舞い上がりを防ぐため窒素ガスをゆっくり導入するスローベントが用いられてきました。ロードロック室の窒素ガス吹き出し口にブレイクフィルター™ を取り付けることにより、そのようなスローベントが不要になり、スループットの向上が図れます。同時に、パーティクルの低減にも優れた効果を発揮し、突発パーティクルの防止にも多大な効果があります。また、スローベントとの併用で、より大きなパーティクル低減効果を期待することも可能です。

ブレイクフィルター™ の効果

下の写真は約11リッターのチャンバーをブレイクフィルター™ を使用せず約60秒でスローベントを行った場合と、ブレイクフィルター™ を使用しスローベントを行わずに約20秒で真空破壊した際の状況を撮影したものです。白球状のものはパーティクルに見立てた発泡スチロールです 。ブレイクフィルター™ を取り付けることにより、パーティクルの舞い上がりが抑えられているのがお解りいただけると思います。

フィルター使用
フィルター使用の写真
スローベントなし

フィルター不使用
フィルター不使用の写真
スローベントあり

現在ご使用中の真空装置のスループットの向上、パーティクルの低減、そして突発パーティクルの防止にクアーズテック株式会社のブレイクフィルター™ をお試し下さい。

ブレイクフィルター™
ブレイクフィルター™

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