六角マルチチャンネルタイプのエレメントを採用した「Mシリーズ」から、ガス置換特性をさらに向上させた「TMシリーズ」、一段とコンパクト化を図った「STMシリーズ」、近年、半導体製造装置業界で主流となりつつある集積型ガスパネルに対応する「STM-Vシリーズ」まで用意しています。
ロードロック室の窒素ガス吹き出し口に当社のブレイクフィルター™ を取り付けるだけで、スローベントが不要になり、スループットの向上が図れ、また、パーティクルの低減にも優れた効果を発揮し、突発パーティクルの防止にも多大な効果があります。
純度の高さ、フッ素系ガスに対する優れた耐食性に注目し、半導体装置用部材としての新しい用途を開発すると同時に、従来難しいとされていたルツボ形状、大形形状の板、リングなどの製造も可能になりました。
吸収率が0.01％以下と非常に緻密な焼結体で極めて高い強度と優れた耐摩耗性をもっており、また優れた電気絶縁性、高い熱伝導率、さらに酸・アルカリなどに対し安定性が高いなどの特性から、半導体装置用部材としての用途が拡がっています。
キャスタブル、プラスチック、ラミング耐火物のラインアップがあり、従来の耐火レンガに見られない優れた特性により、各種窯炉の新設、補修および一般作業用として多方面で利用されています。
溶融ガラスによる浸食や浸食性蒸気に対する優れた抵抗性、急激な温度変化に対する安定性など、フィーダー用耐火物に求められる諸条件を満たす各種製品を提供しています。
純アルミナ、アルミナ−ムライト、電融ジルコニアなど、ユーザーの用途に合わせた幅広い材質を用意すると共に、焼成工程の自動化、省エネルギー化に対応する製品の供給を通し、焼成技術の向上に貢献しています。
