半導体産業ではシリコン単結晶引き上げ用ルツボ、エピタキシャル成長用ベルジャー、酸化・拡散などの熱処理用炉芯管、ボートなどの治具類、洗浄槽などに用いられており、また、LSIの転写工程に欠かせないフォトマスク材にも応用されています。
一般の石英に比べ金属不純物が1/10以下に抑えられた非常に純度の高い製品で、均質性に優れ脈理や気泡がほとんど存在しないため紫外線の透過率が非常に良好で、大型液晶ディスプレイ(LCD)製造用大型フォトマスク基板として幅広く利用されています。
高純度溶融シリカを主成分としており、熱衝撃に強く、純度が高いことからポリシリコンへの影響を最小限に抑えることができます。また、特殊な成形法で製造されており、成形時の寸法変化もなく、大型形状品をはじめ、複雑形状品にも対応できます。
キャスタブル、プラスチック、ラミング耐火物のラインアップがあり、従来の耐火レンガに見られない優れた特性により、各種窯炉の新設、補修および一般作業用として多方面で利用されています。
溶融ガラスによる浸食や浸食性蒸気に対する優れた抵抗性、急激な温度変化に対する安定性など、フィーダー用耐火物に求められる諸条件を満たす各種製品を提供しています。
鋳込み成形により製造されたGLASSUN® シリーズ、不定形耐火物としてのGLASSUN® CASTABLEシリーズ、および、GLASSUN® CEMENTに大別され、小形状から大形状まで、さらには複雑形状の製造も可能です。
石英ガラス管の中に高純度なカーボンワイヤー発熱体を組み込んだヒーターで、優れた応答性はもちろん、その形状も自由に設計できます。さらに、光による非接触加熱のため、雰囲気をクリーンに保ちます。
クアーズテック株式会社のT-200 石英ルツボは主に光学ガラス溶解用として広く使用されています。
