シリコン

高純度シリコン単結晶部材

高純度シリコン単結晶部材の写真

ウェーハと同等の純度をもち、素材からの汚染が少なく、パーティクルの発生が少ない製品です。素材はプレート形状を主体に、ロッドやリング形状への対応が可能で、従来、部品化が困難とされていた精密加工も可能になりました。

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