半導体の製造プロセスに必要な石英ガラス、炭素・炭化ケイ素製品をはじめ、高度な機能を有する各種ファインセラミックス製品や合成石英製品などを開発・供給しています。独自の高純度化技術と大型化・精密化・モジュール化など特殊な形状・構造を実現する加工技術を駆使して、製造プロセス上の課題に、特徴のあるアプリケーションを提案。半導体の高集積化や生産性向上に貢献する部材としてユーザーからの高い信頼を得ており、多くの製品が高い市場シェアを獲得しています。

• • 高純度石英ガラス製品
  • 多くの優れた特性をもつ透明石英ガラス、不透明石英ガラス、合成石英ガラスです。
• • TPSS 炭化ケイ素セラミックス
  • 独自の技術で開発した高純度炭化ケイ素が主成分の材料です。

• • 特殊炭素・高純度黒鉛製品
  • 金属材料や他のセラミックス材料にはない特性を活かした各種炭素・黒鉛製品です。
• • CEPURE® インライン・ガスフィルター
  • セラミックフィルターをエレメントに採用した高純度ガス供給系の製品です。

• • 真空破壊用ブレイクフィルター™
  • 圧力バッファー効果を利用した真空破壊用の高性能ディフューザーです。
• • SAPPHAL® 高純度アルミナセラミックス
  • サファイア(アルミナ単結晶)に近い性質をもつ透光性アルミナセラミックスです。

• • ADS高純度アルミナセラミックス
  • 非常に緻密な焼結体の高純度アルミナセラミックスです。
• • 高純度シリコン単結晶部材
  • ウェーハと同等の純度をもつ高純度シリコン部材です。

• • CERASIC® 常圧焼結SiCセラミックス
  • 耐磨耗・耐食性が要求される機械部品に最適な材料です。