サファイア(アルミナ単結晶)に近い性質を持つ透光性アルミナセラミックスは可視光線のほとんどを拡散透過するためナトリウムランプなどの照明用部材として使用されてきました。当社では透光性アルミナセラミックスのもつ純度の高さ、フッ素系ガスに対する優れた耐食性に注目し、半導体装置用部材としての新しい用途を開発しました。SAPPHAL^® は高純度であると同時に、気孔の無い真密度に極めて近い緻密性と結晶粒径の揃った均一な組織構造をもつため、プラズマ雰囲気の過酷な環境に耐えることができます。また、従来難しいとされていた複雑形状品、大型製品などの製造も可能になり、さらなる応用が期待されています。

フッ素系プラズマでの耐食性試験

SAPPHAL^® に比べ他のアルミナセラミックスは気孔がエッチングされ、多くのパーティクルが発生しているのがお判りいただけます。

不純物含有量の比較

SAPPHAL^® はアルカリや金属汚染の低減に有効です。

SAPPHAL^® の特性(代表例）

アルミナ含有量	%	99.97
密度	g/cm3	3.99
吸水率	%	0
平均結晶粒径		25
曲げ強度	MPa	300
ヤング率	GPa	395
ビッカース硬度	(HU.5kgf) Gpa	17.7
破壊じん性値	MPa・m1/2	4.0
熱膨張係数	(20〜900℃)×10-6/K	8.0
熱伝導率	(20℃) W/mk	33.5
耐熱衝撃	(△T)℃	200
最高使用温度	℃	1800
電気抵抗率	(20〜100℃) ・cm	1017
比誘電率	(20℃，10GHz)	10
tan	(20℃，10GHz)×10-4	1.0
全透過率	%	96
直線透過率	%	40