第30回 真空展
第30回 真空展

皆様のご来場誠にありがとうございました！
2008年9月10日（水）〜9月12日（金）にビッグサイトにて開催されました「VACＵUM（真空展）」では、当社ブースに多くの方々にご来場いただき誠に有難うございました。会期中は、十分なご説明を行えなかった場合もあったかと思いますが、何卒ご寛容のほどお願いいたします。また出展製品についてのご質問やお問合せなどがございましたら、お気軽にお問合わせ下さい

出展当日の様子

VACUUM 2008

2008.9.10-9.12

ご来場風景 1

出展品

真空排気用ソフバックフィルターTM
真空排気用ソフバックフィルターTM
真空チャンバーの排気配管中に取り付けることにより、パーティクル低減やスループット向上に優れた効果を発揮します。またあらゆる装置で使用できる“バルブ一体型”やニードルバルブ等の代わりに使用できる“スロー排気ライン用”など多彩なラインアップを取り揃えています。
pdf 当日配布資料PDF（真空排気用フィルター : 120kb）
真空破壊用ブレイクフィルターTM
真空破壊用ブレイクフィルターTM
セラミック多孔体の持つ圧力バッファー効果を利用した、真空破壊（装置内を真空状態から常圧に戻す操作）用の気流制御フィルターです。パーティクルの低減や、突発パーティクルの防止にも効果を発揮します。半導体のエッチング工程の歩留まり向上から出発して、大型液晶ディスプレイの工程などにも応用が進んでいます。
pdf 当日配布資料PDF（真空破壊用ブレイクフィルター : 129kb）

第30回　真空展について

出展対象 真空冶金装置／真空化学装置／真空薄膜形成 ／排気装置／分析・試験装置／その他の真空装置／真空ポンプ／計測器／部品／保守・クリーニング・修理・改造／材料／受託加工／その他
ウェブサイト http://www.cnt-inc.co.jp/vacuum/index.html新しいウィンドウを開きます。
日時 2008年9/10(水)〜9/12(金)
時間 10:00〜1７:00
会場 東京ビッグサイト 西3・4ホール
主催 日本真空工業会、日本真空協会

本ページに関するお問合せ先

コバレントマテリアル株式会社　営業支援部　篠生
TEL：03-5437-8407　FAX：03-5437-7395

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