第31回 真空展

皆様のご来場誠にありがとうございました！
2009年9月16日（水）〜9月18日（金）にビッグサイトにて開催されました「VACＵUM（真空展）」では、当社ブースに多くの方々にご来場いただき誠に有難うございました。会期中は、十分なご説明を行えなかった場合もあったかと思いますが、何卒ご寛容のほどお願いいたします。また出展製品についてのご質問やお問合せなどがございましたら、お気軽にお問合わせ下さい。

出展当日の様子

VACUUM 2009

2009.9.16-9.18

ご来場風景 1

出展品

真空排気用ソフバックフィルターR
真空排気用ソフバックフィルター®
真空チャンバーの排気ライン中に取り付けることにより、パーティクル低減やスループット向上に優れた効果を発揮します。排気ラインが1ラインのみの装置で使用できる"バルブ一体型"の他、スロー排気ラインを有する装置で使用できる"チューブタイプ"などを取り揃えています。
pdf 当日配布資料PDF（真空排気用フィルター : 1650kb）
真空破壊用ブレイクフィルターTM
真空破壊用ブレイクフィルターTM　URL
セラミック多孔体の持つ圧力バッファー効果を利用した、真空破壊（装置内を真空状態から常圧に戻す操作）用の気流制御フィルターです。パーティクルの低減や、突発パーティクルの防止にも効果を発揮します。半導体のエッチング工程の歩留まり向上から出発して、液晶ディスプレイ製造などの大型装置にも応用が拡がっています。
pdf 当日配布資料PDF（真空破壊用ブレイクフィルター : 1981kb）

第31回　真空展について

ウェブサイト http://www.cnt-inc.co.jp/vacuum/index.html新しいウィンドウを開きます。
日時 2009年9/16(水)〜9/18(金)
時間 10:00〜1７:00
会場 東京ビッグサイト 東5ホール
主催 日本真空工業会、日本真空協会

本ページに関するお問合せ先

コバレントマテリアル株式会社　営業支援部　篠生
TEL：03-5437-8407　FAX：03-5437-7395

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