ICマスクの材料技術とLCDマスクの研磨技術を融合！
超高純度の合成石英ガラスT-4000シリーズは、純度が高いのはもちろんのこと、耐熱性、光透過性、電気絶縁性に優れ、化学的にも極めて安定しています。合成石英ガラスの特性と高度な研磨技術を活かし、最近ではLCD製造における微細なパターン露光工程用のフォトマスク材として幅広く使用されています。
大型フォトマスク基板
高精細研磨した石英ガラス基板を出荷します。
ブランクス
クロム膜(遮光膜)を成膜したブランクスにします。
レジスト塗布
ブランクスにレジスト(感光材)を塗布します。
描画
データを元に描画機でパターンを描画しします。
現像
描画の済んだマスクから不要なレジストを除去します。
エッチング
現象の済んだマスクから不要なクロム膜を溶解します。
検査・測長
出来上がったマスクを検査・測定します。
洗浄・出荷
検査を合格したマスクを純水で洗浄し出荷します。
