FPD(フラット・パネル・ディスプレイ)の大画面化により、ディスプレイを構成するガラス基板も大型化が進んでおり、製造用プロセス部材においてもさらなる高精度化が求められています。クアーズテックグループは、微細回路の露光精度向上に寄与する戦略製品「合成石英フォトマスク基板」をはじめ、FPD生産の合理化・効率化をサポートする多彩な製造部材を提供し、ユーザーから高い評価を得ています。
液晶ディスプレイ製造のおける微細な露光工程用のフォトマスク基板です。
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