半導体の製造プロセスに必要な石英ガラス、炭素・炭化ケイ素製品をはじめ、高度な機能を有する各種ファインセラミックス製品や合成石英製品などを開発・供給しています。独自の高純度化技術と大型化・精密化・モジュール化など特殊な形状・構造を実現する加工技術を駆使して、製造プロセス上の課題に、特徴のあるアプリケーションを提案。半導体の高集積化や生産性向上に貢献する部材としてユーザーからの高い信頼を得ており、多くの製品が高い市場シェアを獲得しています。
多くの優れた特性をもつ透明石英ガラス、不透明石英ガラスです。
化学反応で製造された高純度・低熱膨張を特長とする合成石英ガラスです。
独自の技術で開発した高純度炭化ケイ素が主成分の材料です。
金属材料や他のセラミックス材料にはない特性を活かした各種炭素・黒鉛製品です。
セラミックフィルターをエレメントに採用した高純度ガス供給系の製品です。
圧力バッファー効果を利用した真空破壊用の高性能ディフューザーです。
サファイア(アルミナ単結晶)に近い性質をもつ透光性アルミナセラミックスです。
非常に緻密な焼結体の高純度アルミナセラミックスです。
ウェーハと同等の純度をもつ高純度シリコン部材です。