炭化ケイ素

TPSS 炭化ケイ素セラミックス

高純度、高強度、高耐食性など数多くの特性をもっており、半導体熱処理炉用炉芯管をはじめ均熱管、ボート、フォークなどに応用されています。また、製品の表面にCVD法により超高純度で緻密な炭化ケイ素膜をコーティングしたグレードも提供しています。
CERASIC^® 常圧焼結SiCセラミックス

1400℃以上でも強度劣化がなく安定して使用することが可能です。また高温での耐クリープ性(形状安定性)に優れており、変形が殆ど起こりません。