半導体関連製品:ADS高純度アルミナセラミックス

数多くの優れた特性−高強度、耐摩耗性、化学的安定性などで応えます!

ADSアルミナセラミックスは、吸水率が0.01%以下と非常に緻密な焼結体です。優れた電気絶縁性、高強度、耐摩耗性などの特性から、各種産業用構造部品として幅広く利用されています。さらに、酸・アルカリやハロゲンプラズマに対して高い耐食性を有することから、半導体やFPD製造用部材としての用途が拡がっています。

ADSの用途

  • エッチング、アッシング装置用部品
  • CVD装置用部品
  • ウェーハ研磨用ラッププレート
  • ウェーハ搬送用アーム

各種大型製品や複雑形状品の対応が可能です。

ADS ラッププレート

ADS ラッププレート

物理特性(代表例)

  ADS-11 ADS-12
アルミナ含有量 % 99.5 99.5
密度 g/cm3 3.90 3.92
吸水率 % <0.01 <0.01
平均結晶粒径 ミクロメートル 6 20
曲げ強度 MPa 350 330
ヤング率 GPa 360 360
ビッカース硬度 (HU.5kgf) Gpa 16.0 16.0
破壊じん性値 Mpa・m1/2 4.5 4.2
熱膨張係数 (20〜900℃)×10-6/K 7.8 7.8
熱伝導率 (20℃) W/mk 30.0 30.0
耐熱衝撃 (△T)℃ 220 200
最高使用温度 1500 1600
電気抵抗率 (20〜100℃)オメガ・cm >1016 >1016
比誘電率 (20℃,10GHz) 9.9 9.9
tan デルタ (20℃,10GHz)×10-4 10.0 10.0

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