ウェーハ並みの純度を持つ、プロセス部材のキーマテリアル！
ウェーハと同等の純度をもつ高純度シリコン部材は、素材からの汚染が少なく、パーティクルの発生が少ない製品です。素材はプレート形状を主体に、ロッドやリング形状への対応が可能で、従来、部品化が困難とされていた精密加工も可能になり、様々なプロセス部材への応用が期待されています。
高純度シリコン部材
| サイズ | タイプ | 抵抗率( ・cm) |
酸素濃度(1018 atoms/cm3) |
|---|---|---|---|
 200×L |
P型／N型 | 1〜20 | 0.5〜2.0 |
| 300×L |
P型／N型 | 1〜20 | 0.5〜2.0 |
| 400×L |
P型 | 1〜20 | 0.5〜2.0 |
| 密度 | g/cm3 | 2.33 |
|---|---|---|
| 曲げ強度 | MPa | 〜300 |
| ヤング率 | GPa | 190 |
| 熱膨張係数 | 10-6/K | 3.9 |
| 熱伝導率 | (室温) W/mk | 157 |
| 電気抵抗率 | ・cm |
1〜20 |
| 最高使用温度 | ℃ | 1300 |
