優れた耐食性と物理特性がラインの信頼性を築きます！
CERASIC® 常圧焼結SiCセラミックスは高温強度を必要とする場合はもちろん、耐摩耗・耐食性を要求される機械部品に最適な材料です。また、半導体及びFPD製造用部材としても様々な用途開発が進められています。高純度品としてCVD被膜を施した製品の供給も可能です。
シリコンウェーハ用部材：フォーク、ラッププレート、ステージ部材、サセプター、チャック、ミラー
FPD製造用部材：大型チャック、スライダー
温調テーブル
ラッププレート
フォーク
| 密度 | (d) | g/cm3 | 3.1 |
|---|---|---|---|
| 曲げ強度 | (R.T) | MPa | 450 |
| (1450℃) | MPa | 450 | |
| ヤング率 | (E) | GPa | 420 |
| ボアソン比 | 0.18 | ||
| 比剛性率 | (E/d) | 106m | 12.6 |
| ビッカース硬度 | 2300 | ||
| 破壊靱性 | (KIC) | MPa・m1/2 | 3.5 |
| 熱膨張係数 | 10-6/K | 4.5 | |
| 熱伝導率 | ( ) |
W/mk | 170 |
| 熱拡散率 | (/cd) |
cm2/s | 0.8 |
| 耐熱衝撃 | (△T) | ℃ | 450 |
| 電気抵抗率 | (R.T) |  ・cm |
*x100〜106 |
*任意に制御可能
