| 2010/06/01 | 透明石英ガラス製品の一部生産終了のお知らせ |
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次世代半導体量産へのパスポート − 超高純度石英ガラス！
クアーズテック株式会社は、高度な溶接技術と業界最大の製造設備により世界最大級の石英チューブ・チャンバー類の製造を行っています。
特に、液晶を代表とするFPD(フラットパネルディスプレイ)や太陽電池などの大型基板熱処理工程におけるクリーンプロセス実現に貢献しています。
また、豊富な経験から蓄積された製造ノウハウと強度シミュレーション技術により、大型石英製品の新規設計をサポートします。
2000mm級チューブの実現！！設備能力的には外径2000mmを超えるチューブ状製品の製造が可能です。
製品イメージ
※角型タイプへの対応も可能ですのでご相談下さい。
[ppm]
| グレード | Al | Fe | Na | K | Cu |
|---|---|---|---|---|---|
| T-1030 | 8 | 0.3 | 0.8 | 0.2 | 0.02 |
| T-1630S | 8 | 0.3 | 0.05 | 0.05 | <0.01 |
| T-1930S | 8 | 0.3 | 0.05 | 0.05 | <0.01 |
| T-4040 | 0.1 | 0.05 | 0.05 | 0.05 | <0.01 |
| T-6040 | <0.01 | <0.01 | <0.01 | <0.01 | <0.01 |
| T-2030 | 8 | 0.5 | 1.0 | 1.0 | 0.02 |
| T-2630 | 8 | 0.3 | 0.4 | 0.2 | <0.01 |
| グレード | OH含有量[ppm] | 1000℃のガス放出量[ml/100g] | 水素ガス割合[vol.%] |
|---|---|---|---|
| T-1030 | 200 | 1.5 | 75 |
| T-1630S | 200 | 1.5 | 75 |
| T-1930S | 200 | 2.1 | 90 |
| T-2030 | <1 | 0.1 | 0 |
| T-2630 | <1 | 0.1 | 0 |
[℃]
| グレード | 軟化点 | 徐冷点 | 歪み点 |
|---|---|---|---|
| T-1030 | 1660 | 1190 | 1090 |
| T-1630S | 1660 | 1200 | 1100 |
| T-1930S | 1660 | 1190 | 1090 |
| T-4040 | 1590 | 1105 | 1000 |
| T-2030 | 1670 | 1220 | 1130 |
| T-2630 | 1670 | 1230 | 1140 |
| 区分 | 単位 | 温度[℃] | 透明石英ガラス | 測定試料 |
|---|---|---|---|---|
| 密度 | g/cm3 | 室温 | 2.2 | − |
| 硬度 | Mohs | − | 6 | − |
| ヤング率 | GPa | 室温 | 72 | − |
| 500 | 76 | − | ||
| 900 | 79 | − | ||
| 剛性率 | GPa | 室温 | 31 | − |
| 500 | 34 | − | ||
| 900 | 35 | − | ||
| ポアソン比 | − | − | 0.17 | − |
| 横断 | MPa | 室温 | 105 | 厚さ10mm両面研磨板 |
| 室温 | 125 | 径10mm棒状 | ||
| 室温 | 113 | 外径10.1mm、肉厚0.8mm管状 | ||
| 室温 | 99 | 外径10.5mm、肉厚1mm管状 | ||
| 500 | 123 | 外径10.5mm、肉厚1mm管状 | ||
| 900 | 149 | 外径10.5mm、肉厚1mm管状 | ||
| 捻り | MPa | 室温 | 46 | − |
| 引張強さ | MPa | 室温 | 48 | 径5mm棒状 |
| 室温 | 110 | 径0.7mm棒状 | ||
| 500 | 113 | 径0.7mm棒状 | ||
| 900 | 163 | 径0.7mm棒状 | ||
| 1100 | 128 | 径0.7mm棒状 | ||
| 圧縮強さ | MPa | 室温 | 1130 | 径24mm棒状 |
